在半導體和制藥領域，水質純凈度直接決定產品性能與安全，而島津TOC分析儀正是保證超純水質量的精密哨兵。

在半導體制造和藥品生產過程中，超純水的品質直接影響產品性能與安全。總有機碳（TOC）分析儀作為高精度檢測工具，在這些領域的水質監測中發揮著的作用。

無論是半導體芯片清洗用的超純水，還是制藥行業注射用水的質量控制，TOC分析儀都能提供快速、準確的測量數據，確保生產環境的潔凈度符合嚴苛標準。

01 超純水水質監測的重要性

超純水是制藥和半導體行業至關重要的資源。在制藥領域，特別是注射用水的制備，必須持續監測超純水的質量，以滿足藥典的嚴格要求。

半導體行業的許多工藝都需要用超純水進行清洗工序，超純水的品質直接影響到產品的良率。

污染源無處不在，它們都會對水質產生負面影響。一旦超純水接觸環境空氣或進行分裝，水的純度就會快速下降。

TOC參數能快速反映水質情況，是水中有機物質含量的量化指標，對于評估超純水水質至關重要。

02 島津TOC分析儀的技術原理

島津公司針對不同應用場景，開發了多種TOC分析技術，主要分為兩大類：

UV氧化-電導率法

島津eTOC系列中的TOC-1000e采用紫外線氧化法和電導率直接測量法。這種方法的原理是：超純水的水流被導入過程分析儀，先是在紫外線燈關閉狀態下流過測量單元，測得基礎電導率。

隨后樣品流在系統中暫停，紫外線燈打開，通過發射的紫外線生成OH自由基，將樣品流中的有機物質轉化為CO?。這些CO?溶解在水中生成碳酸氫根離子，使樣品的電導率提高。

最后，樣品流重新流動，通過測量單元測得升高后的電導率，通過前后兩個電導率的差值計算出TOC的濃度。

燃燒催化氧化法

島津TOC-L系列采用680°C燃燒催化氧化法，目前已在世界范圍內使用。這種方法通過高溫燃燒樣品，然后使用非色散紅外（NDIR）檢測器進行測量。

燃燒催化氧化法不僅可以有效地氧化易分解的低分子量有機物，還可以有效地氧化難分解的不溶性和大分子有機物。

測量范圍極廣，從4μg/L到30000 mg/L，適用于從超純水到高污染水的所有領域。

03 產品系列及主要特點

TOC-1000e：超純水在線監測專家

TOC-1000e是島津eTOC系列中新的產品，專門用于超純水設備的在線監控。它具有以下突出特點：

的靈敏度：TOC-1000e具有超高靈敏度，可應對超純水的測定需求。

緊湊設計：整個機身比一張A4紙還小，重量不到3 kg，非常適合壁式安裝或柱式安裝。

環保技術：采用無汞準分子燈，結合“Active-Path"技術，同時實現高測量性能和的環保效應。

準分子燈里氙氣體會被激發，發生放電，輻射出波長為172 nm的高能紫外光線，發揮出強大的氧化作用。

長期穩定性：采用單個測量單元設計，能使系統保持長期穩定，每年只需校準一次。

TOC-L系列：實驗室分析的得力助手

TOC-L系列TOC分析儀采用島津開發的680°C燃燒催化氧化法，提供4-30000 mg/L的超寬測量范圍，檢測限可達4μg/L。

該系列包括高靈敏度模型（檢測限為4μg/L）和考慮成本性能的標準模型。

TOC-L系列具有節省空間和節能設計，儀器的寬度比傳統島津型號減少了20%，可以更有效地利用實驗室空間。

04 在半導體行業的應用方案

半導體行業對超純水的質量要求高，島津TOC分析儀為該行業提供了完整的解決方案。

針對超純水制備環節的不同使用場景和用途，可以選擇合適的TOC分析儀。

在超濾的終端出水、混床、反滲透等工藝出水TOC濃度較低的部位，可以選用TOC-1000e在線監測儀器。它具有靈敏度高、體積小巧、性能的特點，可很好應對超純水的測定。

而對于回收水、原水等TOC濃度高、水質相對比較復雜的點位，可以選用TOC-4200進行監測。

燃燒法TOC對水樣氧化充分，檢測精確，具有流程簡單、反應快速、重現性好等特點。

05 在制藥行業的應用方案

制藥行業對超純水有著非常嚴格的質量要求，必須符合各國藥典的規定。島津TOC分析儀能夠同時滿足制藥行業對TOC濃度和電導率的測量需求。

TOC-1000e支持美國藥典、歐洲藥典、印度藥典及中國藥典中對TOC檢測儀、電導率儀的要求，支持與LabSolution連用。

在制藥行業，系統的驗證、分析過程的無縫記錄以及數據的完整性異常重要。

eTOC系列的儀器擁有用戶管理和審計追蹤功能，符合GxP（藥品生產質量管理規范）的要求。

06 智能功能與維護保障

現代化通信功能

島津eTOC系列擁有各種不同的通信手段，可以通過模擬輸出（4～20 mA）或數字輸出接口（TCP） 將結果傳送給過程控制臺。

通過與網絡連接，工作人員可以在聯網的電腦或平板上查看測量結果。

TOC-1000e還具有網頁瀏覽器上查看/獲取數據的功能，以及用戶驗證和設置功能，記錄操作履歷功能。

維護保養簡單

島津TOC分析儀設計上考慮了維護的便捷性。二氧化碳吸收器通常每年更換一次，主要作用是吹掃光源，防止光源處二氧化碳的殘留。

冷凝水瓶需要定期清潔，如果長時間不清洗，廢水中的有機物將大量繁殖，產生大量的CO2氣體，對載氣或樣品造成污染，導致數據波動較大。

對于采用燃燒法的TOC-L系列，催化劑的壽命是影響靈敏度的關鍵。如果靈敏度下降，可以使用儀器菜單中的TC催化劑再生功能來清潔催化劑，如果清潔無效，建議更換新催化劑。

隨著半導體和制藥行業對超純水水質要求的不斷提高，島津TOC分析儀的技術也在持續進步。TOC-1000e憑借其緊湊的設計、的性能和簡單的維護，正成為越來越多高純度制造企業的選擇。

從實驗室研究到工業生產，從在線監控到離線分析，島津TOC分析儀以其精準的檢測能力和可靠的數據支持，守護著高純度制造行業的水質安全。